産総研(AIST)>分散型熱物性データベース

分散型熱物性データベースは液体、固体、高温融体に関する熱伝導率、 比熱容量、熱拡散率、密度、表面張力、蒸気圧などの熱物性値を収録しており、 無料でご利用いただけます。(開発・運営:産業技術総合研究所)

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約3,600物質・材料に渡り、合計11,500件以上の物性データ(機械特性、光学特性、XRDスペクトル等を含む)を無償でご利用いただけます。右欄のDB閲覧項目からデータベースへアクセスできます。また、下記データ紹介のリンクからも直接データベースへアクセスできます。

溶融石英基板上に成膜されたAl2O3薄膜等の熱物性

1.Mo/Al2O3/Mo薄膜(溶融石英基板上)
1.1.Mo/Al2O3/Mo薄膜(溶融石英基板上)
RFマグネトロンスパッタリング法で溶融石英基板上に成膜されたMo/Al2O3(アモルファス)/Moの3層膜について、ナノ秒サーモリフレクタンス法で測定された面積熱拡散時間を収録しています。中間層であるAl2O3層の膜厚を0.5~100nmの範囲で変化させた試料内4種類について、3層膜試料の面積熱拡散時間が測定されています。この時、XRDの測定結果から中間層はアモルファスアルミナ層であることが確認されています。反射膜として機能するモリブデン薄膜の膜厚は表裏面共に100nmです。
さらに、解析解による測定結果のフィッティングも実施することで、中間層であるアモルファスAl2O33薄膜の熱拡散率および、モリブデン薄膜とアモルファスアルミナ薄膜間の界面熱抵抗を算出し、それらも収録しています。

2.W/Al2O3/W薄膜(溶融石英基板上)
マグネトロンスパッタリング法を用いて、溶融石英基板上に成膜されたW/Al2O3/Wの3層薄膜を作成しています。中間層であるアモルファスAl2O3を1nm〜50nmまで変化させた複数の試料について、ナノ秒サーモリフレクタンス法で面積熱拡散時間が測定されました。データベースではアモルファスAl2O3層の熱拡散率とタングステンとアルミナ層間の界面熱抵抗を公開しています。詳細は以下の論文を御覧ください。

論文名:Thermal Boundary Resistance of W/Al2O3 Interface in W/Al2O3/W Three-Layered Thin Film and Its Dependence on Morphology
著者:Shizuka Kawasaki, Yuichiro Yamashita, Nobuto Oka, Takashi Yagi, Junjun Jia, Naoyuki Taketoshi, Tetsuya Baba, and Yuzo Shigesato
DOI:http://dx.doi.org/10.7567/JJAP.52.065802

別名:アルミナ薄膜、モリブデン/アルミナ/モリブデン3層膜、酸化アルミニウム薄膜

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