産総研(AIST)>分散型熱物性データベース

分散型熱物性データベースは液体、固体、高温融体に関する熱伝導率、 比熱容量、熱拡散率、密度、表面張力、蒸気圧などの熱物性値を収録しており、 無料でご利用いただけます。(開発・運営:産業技術総合研究所)

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約3,600物質・材料に渡り、合計11,500件以上の物性データ(機械特性、光学特性、XRDスペクトル等を含む)を無償でご利用いただけます。右欄のDB閲覧項目からデータベースへアクセスできます。また、下記データ紹介のリンクからも直接データベースへアクセスできます。

合成石英基板上に成膜されたTiN薄膜の熱物性、光学特性、材料キャラクタ

1.多結晶TiN薄膜(合成石英基板)

1.1.TiN薄膜(合成石英基板)
合成石英基板上にDCマグネトロンスパッタリング法にて成膜された、膜厚(700nmの)多結晶窒化チタン薄膜に関する物性データを収録しています。

熱物性:
ナノ秒サーモリフレクタンス法によって取得されたサーモリフレクタンス信号および、サーモリフレクタンス信号に解析解をカーブフィットすることで得られた熱拡散時間を収録しています。また、熱拡散時間と多結晶窒化チタン薄膜の膜厚から算出した熱拡散率も収録しています。

光学物性:
波長250nm~1600nmにおける屈折率、吸収係数、消散係数、反射率を収録しています。

材料キャラクタ:
XRDスペクトルデータ、RBSスペクトルデータを収録しています。

 

参考文献:

Y. Yamashita, T. Yagi, T. Baba, "Development of Network Database System for Thermophysical Property Data of Thin Films", Japanese Journal of Applied Physics, Vol.50, 2011, 11Rh03(11Pages). DOI

 

サマリー
材料名と状態 データ種類 範囲 DBへのリンク

多結晶窒化チタン薄膜

膜厚700nm、合成石英基板

熱拡散率、サーモリフレクタンス信号、熱拡散時間 室温

グラフ

データを閲覧

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XRDスペクトル、RBSスペクトル  
屈折率、吸収係数、消衰係数、反射率 波長250〜1600nm

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