産総研(AIST)>分散型熱物性データベース

分散型熱物性データベースは液体、固体、高温融体に関する熱伝導率、 比熱容量、熱拡散率、密度、表面張力、蒸気圧などの熱物性値を収録しており、 無料でご利用いただけます。(開発・運営:産業技術総合研究所)

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約3,600物質・材料に渡り、合計11,500件以上の物性データ(機械特性、光学特性、XRDスペクトル等を含む)を無償でご利用いただけます。右欄のDB閲覧項目からデータベースへアクセスできます。また、下記データ紹介のリンクからも直接データベースへアクセスできます。

新規データ公開報告:薄膜熱物性データ 2013年03月01日

12種類の金属薄膜について、合計157件の物性データ、材料データを新規に公開しました。
 試料説明:DCマグネトロンスパッタリング法*1でパイレックス基板上成膜された、膜厚約400nmの薄膜です。*2熱拡散率はサーモリフレクタンス法で測定されており、その際の信号データ、データ解析で得られる熱拡散時間および熱拡散率を公開しています。結晶性の情報として主なピーク位置毎のXRDスペクトルデータを公開しています。*3その他の物性として、4端子法で測定された電気抵抗率や、分光エリプソメーターで測定した消衰係数、屈折率とそれらから算出した吸収係数、反射率を公開しています。
*1 コバルト薄膜はRFスパッタリング法にて成膜。*2コバルトおよびタンタル薄膜は膜厚300nm。*3モリブデン薄膜はXRDスペクトルデータがございません。

各データへのリンク(TPDS-web/fullが別ウィンドウで開きます。)
クロム薄膜パイレックス基板
 

チタン薄膜パイレックス基板
 

白金薄膜パイレックス基板
 

タングステン薄膜パイレックス基板
 

アルミニウム薄膜パイレックス基板

モリブデン薄膜パイレックス基板
 

タンタル薄膜パイレックス基板
 

ニオブ薄膜パイレックス基板
 

ジルコニウム薄膜パイレックス基板
 

ニッケル薄膜パイレックス基板
 

鉄薄膜パイレックス基板
 

コバルト薄膜パイレックス基板
 


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■データ更新情報