産総研(AIST)>分散型熱物性データベース

分散型熱物性データベースは液体、固体、高温融体に関する熱伝導率、 比熱容量、熱拡散率、密度、表面張力、蒸気圧などの熱物性値を収録しており、 無料でご利用いただけます。(開発・運営:産業技術総合研究所)

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新規データ公開報告 2014年03月27日

a-IGZO(インジウム・ガリウム・亜鉛酸化物)アモルファス薄膜の電気特性と熱物性、ヤング率について、本データベースにて公開させて頂きました。なお、実験方法や材料作成に関する詳細はAPEXより出版された以下の論文をご参照下さい。

論文タイトル:Thermal conductivity of amorphous indium gallium zinc oxide thin films
著者:Toru Yoshikawa, Takashi Yagi, Nobuto Oka, Junjun Jia, Yuichiro Yamashita, Koichiro Hattori, Yutaka Seino, Naoyuki Taketoshi, Tetsuya Baba, and Yuzo Shigesato
DOI:http://dx.doi.org/10.7567/APEX.6.021101

実験詳細:
スパッタリング法にて、膜厚が200nmの薄膜材料が作成され、電気特性(電気抵抗率、キャリア濃度、ホール移動度)は4端子法で測定されています。熱拡散率はナノ秒サーモリフレクタンスにて測定され、密度、比熱容量より熱伝導率が求められました。また、ナノインデンテーション法を用いて機械特性である、ヤング率、音速についてもデータが測定されています。

公開材料リスト:
1.a-IGZO薄膜 (DBシステムで閲覧
収録物性:熱伝導率、熱拡散率、電気抵抗率、ホール移動度、キャリア濃度、ヤング率、音速。

 

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