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約3,600物質・材料に渡り、合計11,800件以上の物性データ(機械特性、光学特性、XRDスペクトル等を含む)を無償でご利用いただけます。右欄のDB閲覧項目からデータベースへアクセスできます。また、下記データ紹介のリンクからも直接データベースへアクセスできます。

熱物性標準研究グループのご紹介

熱物性標準研究グループは標準供給（標準物質開発、依頼試験）に加えて、技術コンサルティングや共同研究による熱物性評価を実施しています。下記グループHPを一度ご覧頂けますと幸いです。

熱物性標準研究グループHP

熱物性標準供給のHP

溶融石英基板上に成膜されたAl₂O₃薄膜等の熱物性

１．Mo/Al2O3/Mo薄膜(溶融石英基板上)
１．１．Mo/Al2O3/Mo薄膜(溶融石英基板上)：
RFマグネトロンスパッタリング法で溶融石英基板上に成膜されたMo/Al₂O₃(アモルファス)/Moの３層膜について、ナノ秒サーモリフレクタンス法で測定された面積熱拡散時間を収録しています。中間層であるAl₂O₃層の膜厚を0.5~100nmの範囲で変化させた試料内４種類について、３層膜試料の面積熱拡散時間が測定されています。この時、XRDの測定結果から中間層はアモルファスアルミナ層であることが確認されています。反射膜として機能するモリブデン薄膜の膜厚は表裏面共に100nmです。
さらに、解析解による測定結果のフィッティングも実施することで、中間層であるアモルファスAl₂O₃3薄膜の熱拡散率および、モリブデン薄膜とアモルファスアルミナ薄膜間の界面熱抵抗を算出し、それらも収録しています。

２．W/Al2O3/W薄膜（溶融石英基板上）
マグネトロンスパッタリング法を用いて、溶融石英基板上に成膜されたW/Al2O3/Wの３層薄膜を作成しています。中間層であるアモルファスAl2O3を1nm〜50nmまで変化させた複数の試料について、ナノ秒サーモリフレクタンス法で面積熱拡散時間が測定されました。データベースではアモルファスAl2O3層の熱拡散率とタングステンとアルミナ層間の界面熱抵抗を公開しています。詳細は以下の論文を御覧ください。

論文名：Thermal Boundary Resistance of W/Al2O3 Interface in W/Al2O3/W Three-Layered Thin Film and Its Dependence on Morphology
著者：Shizuka Kawasaki, Yuichiro Yamashita, Nobuto Oka, Takashi Yagi, Junjun Jia, Naoyuki Taketoshi, Tetsuya Baba, and Yuzo Shigesato
DOI：http://dx.doi.org/10.7567/JJAP.52.065802

別名：アルミナ薄膜、モリブデン/アルミナ/モリブデン３層膜、酸化アルミニウム薄膜

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