ご案内
約3,600物質・材料に渡り、合計11,800件以上の物性データ(機械特性、光学特性、XRDスペクトル等を含む)を無償でご利用いただけます。右欄のDB閲覧項目からデータベースへアクセスできます。また、下記データ紹介のリンクからも直接データベースへアクセスできます。
熱物性標準研究グループのご紹介
熱物性標準研究グループは標準供給(標準物質開発、依頼試験)に加えて、技術コンサルティングや共同研究による熱物性評価を実施しています。下記グループHPを一度ご覧頂けますと幸いです。
新規データ公開報告:薄膜熱物性データ 2013年03月01日
12種類の金属薄膜について、合計157件の物性データ、材料データを新規に公開しました。
試料説明:DCマグネトロンスパッタリング法*1でパイレックス基板上成膜された、膜厚約400nmの薄膜です。*2熱拡散率はサーモリフレクタンス法で測定されており、その際の信号データ、データ解析で得られる熱拡散時間および熱拡散率を公開しています。結晶性の情報として主なピーク位置毎のXRDスペクトルデータを公開しています。*3その他の物性として、4端子法で測定された電気抵抗率や、分光エリプソメーターで測定した消衰係数、屈折率とそれらから算出した吸収係数、反射率を公開しています。
*1 コバルト薄膜はRFスパッタリング法にて成膜。*2コバルトおよびタンタル薄膜は膜厚300nm。*3モリブデン薄膜はXRDスペクトルデータがございません。
各データへのリンク(TPDS-web/fullが別ウィンドウで開きます。)
・クロム薄膜パイレックス基板
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